FJ-80型复合分子泵机组

类型分子泵机组	品牌KYKY
型号FJ-80	材质铝合金
用途增压泵	原理真空泵
真空度超高真空度

产品特点
n  性能优异：系统抽速高、极限真空好，可通入大流量
工艺气体
n  环境清洁：提供无油真空环境，油泵系统可有效防止
油污染
n  使用便捷：便于移动，一键延时启动，启动时间连续
可调，接口丰富
n  应用广泛：实验室科研、质谱分析、表面分析、溅射
和蒸发镀膜等
主要配置
型号
组成
fj-80
分子泵
ff-63/80
机械泵
干式隔膜泵
油封旋片泵
divac 0.8t
ghd-031b
过渡腔
dn63转cf35/kf40/kf16（可定制）
技术指标
分子泵抽气速率
   n2
he
62 l/s
55 l/s
连续入口流量*
100sccm
80sccm
连续入口压强*
   10 pa
10 pa
极限压强
lf
cf
<3.5×10-6 pa
(2.6×10-8torr)
<5×10-7 pa
(3.7×10-9torr)
入口法兰
lf63/cf63
旁抽接口
φ10快拧接头
出口接口
φ8快插接头
放气接口
φ8快插接头
额定转速
72000 min-1 (±0.5‰)
分子泵启动时间
≤1.8min
分子泵启动延时t
1~30min
前级泵
抽气速率
极限压强
干式隔膜泵
油封旋片泵
0.2l/s            300pa
0.5l/s            0.67pa
冷却方式
风冷
烘烤温度
≤100℃
噪声
<55 db(a)
工作环境磁场
<3 mt
工作环境温度
5~40 ℃
供电
220vac（±10%）
功耗（无负载）
干式隔膜泵
油封旋片泵
255w
280w
重量
干式隔膜泵
油封旋片泵
16 kg
21 kg
* 测试条件：实验室条件下连续测试10h，风冷，环境温度20℃；
分子泵启动延时用于控制分子泵和前级泵启动的时间间隔，客户可根据实际情况自行设定。

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