苏州英福康UL1000Fab干式氦质谱检漏仪

  • 加工定制:
  • 类型:氦质谱检漏仪
  • 品牌:英福康
  • 型号:UL1000Fab
  • 测量范围:
  • 测量对象:工艺气体系统的检查和安装
  • 工作温度:
  • 分辨率:
  • 电源:
  • 尺寸:
  • 重量:


ul1000fab干式氦质谱检漏仪产品简介:inficon ul1000fab干式氦质谱检漏仪,ultratest™ 传感器技术,稳定性和灵敏度的新疆界,检漏低达10-12 atm/css。产品详细ul1000fab干式氦质谱检漏仪  的详细介绍
inficonul1000fab干式氦质谱检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借绝佳环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,ul1000fab干式氦质谱检漏仪在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。
通过结合较高氦气吸气能力和高进气口压力的*真空结构,ul1000fab干式氦质谱检漏仪提供的前所未有的泄漏率低达。专利软件i-cal(智能泄漏率计算法)让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼,因为ul1000fab能够对所有泄漏率范围做出快速响应。
使用额外的tc1000测试盒配件,ul1000fab氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试,如ic封装、石英晶体和激光器二极管(根据mil-std843,方法1014)。
功能·                  15级的宽测量范围
·                  较短的抽气和响应时间
·                  移动式全金属外壳,增加了便利性,具有绝对可操作性
·                  i-cal确保了在所有测量范围中提供最快的泄漏响应时间
·                  抑零功能和自动积分时间校正,可提供快速、可靠的测试结果
·                  含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气吸气能力和高压缩比
·                  旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
·                  自保护功能可防止ul1000fab氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
·                  自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
·                  通过电子邮件进行软件更新
·                  含两个灯丝离子源(3年质保)的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
·                  内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果
典型应用·                  对半导体加工工具执行维护作业,无论是否具有自有泵支持
·                  需要较高吸气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
·                  在现有工具中安装前对部件执行检漏
·                  工艺气体系统的检查和安装
·                  内置软件菜单“自动测漏”功能可使用tc1000测试盒执行密封组件的自动测试

昆山熙日机械设备有限公司
张小力
13913143077
江苏省昆山市陆家镇朱家路111号2号厂房
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