青岛晨立二极管扩散炉

加工定制是	品牌CL-扩散炉
型号CL-扩散炉	用途用于大规模集成电路、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。

半导体扩散炉设备用途：用于大规模集成电路、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。主要技术指标：★ 炉管数：1～4管★ 配工艺管口径：φ90～360 mm (3～12英寸)★ 恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)★ 单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)★ 气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器★ 气体控制：浮子/质量流量计★ 悬臂舟参数：速度： 20～1000 mm/min 行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 载荷：17 kg★ 超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音： ≤62db（a）振动： ≤3μm晨立6"***新扩散炉设备新鲜出炉,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格高端产品满足不同工艺的要求.

青岛晨立电子有限公司
王先生
18612520901
山东青岛即墨市青岛市即墨区华山二路618号

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