HF干法刻蚀系统 HF干法刻蚀Ebara-EV-S20P

spts公司拥有自主知识产权的无水氢氟酸气相刻蚀工艺。相比市面上其他厂商以液态氢氟酸气化或者其他载气输运模式，spts采用以气态乙醇作为载气与气态氢氟酸混合后对二氧化硅介质进行选择性蚀刻，并及时处理在反应过程中出现的水汽，真正做到无水刻蚀。一方面体现出对硅衬底，金属以及低应力氮化硅等都有非常好的选择性，因为在水汽作用下，金属等其他材料也会被氢氟酸所腐蚀；另一方面在没有水汽的环境中供刻蚀释放的器件不会出现由于液态张力而与衬底表面的粘附性失效。
   spts的hf氢氟酸刻蚀设备提供多方面的工艺可调性，客户可以根据本身产品的需求在工艺温度，工艺压力，各种气体分压，各种气体流量等参数中选择最适合的参数来优化产品性能。
外形（l*w*h）：450*230*32mm
气体：hf
压力：-20kpa
监管需求：-3psig
加热：需要
纯度：99.9％
极限流：（sccm）1000
平均流：300
合适材料: ss 316l
合适类型：cga
油缸最大高度：（mm）27.5（700）

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北京天锐良工科技有限公司
刘经理
15321168639
北京市丰台区马家堡角门14号商业金融用地2号酒店、商业19层2201

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