(1)等离子清洗的作用
等离子清洗的作用原理主要是:
a:对材料表面的刻蚀作用-物理作用
等离子体中的大量离子、激收态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而不会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
b:激活键能,交联作用
等离子体中的粒子能量在0-20ev,而聚合物中大部分的键能在0-10ev,因此等离子体作用到固固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。
c:形成新的官能团--化学作用
如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会产生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。
(1)真空等离子清洗的优势
等离子清洗作为重要的材料表面改性方法,已经在众多领域广泛使用。
不传统的一些清洗方法,如超声清洗、uv清洗等,具有以下优点:
a:处理温度低
处理温度可以低至80℃、50℃以下,低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。
b:处理全程无污染
等离子清洗机本身是很环保的设备,无产生任何污染,处理过程也无产生任何污染。可以与原有生产流水线搭配,实现全自动在线生产,节约人力成本。
c:处理效果稳定
等离子清洗的处理效果非常均匀稳定,常规样品处理后较长时间内保持效果良好。
d:可以处理各种形状的样品
对于复杂形状的样品,等离子清洗都能找到合适的解决方案。真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。
(1)产品原理
等离子清洗的机构主要分为三个大的部分组成,分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
a:控制单元
控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、pc电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。而控制单元又分为两个大的部分:1)电源部份:主要电源频率有三种,分别是40khz、13.56mhz、2.45ghz,其中13.56mhz是需要电源匹配器的,而2.45ghz又称为微波等离子。2)系统控制单元:分三种,按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、plc控制(液晶触摸屏控制)。
b:真空腔体:
真空腔体主要是分为三种材质的:1)不锈钢真空控体;2)石英腔体;3)高强度铝合金腔体。
c:真空泵:
真空泵种类较多,其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。
1.技术规格、基本配置
整机规格:
650x650x1380(长x宽x高)mm
整机重量:
约400kg
铝合金清洗腔体规格:
300x300x350(长x宽x高)mm(厚度更厚,密封性强,寿命更长)
铝合金清洗腔体有效积:
30l
电源:
ac 220v电源 开关带漏电保护器
功率:
≦1kw
射频输出(连续可调):
0-600w,配置真空电容自动匹配器
射频频率:
13.56mhz
清洗时间定时器范围:
0-99.99min
真空泵:
德国技术,双极旋片真空泵,抽速可达60m?/h
极限真空泵:
≦10pa 工作真空度≦30pa
真空度测量及量程:
1.0x105-1.0x10-1pa进口电子真空计
气体流量计及量程 :
国内领先品牌,量程0-300sccm
进气阀:
全自动电子挡板阀
玻璃观察窗:
观察清洗舱内辉光状态
常用工作气体:
氧气氩气氮气或混合气体可选
气路:
独特的气路分布结构,确保气体分布均匀
plc:
德国西门子plc,全自动程序控制
触摸屏:
威纶通触摸屏,人性化界面,极易操作
全面安全防护:
温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能
电气部件:
全采用施耐德
气压调节部件:
全球领先smc品牌
电极板:
特殊处理的电板板结构,确保放电均匀,清洗效果
腔体:
军工级的高真空密封腔体
2.性能优势
a:原装进口电源:采用原装进口高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果。
b:全面安全防护:温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能。
c:独有放电技术:特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。
d:密封性卓越的真空腔体设计:军工级的高真农药度真空腔体设计及制造工艺,配置进口真空泵。
e:优势产品部件:产品全部部件采用国内外优质部件,确保设备性能优越。
f:超低真空温度:满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。
g:精密数控加工:进口精密cnc数据机床加工工艺,并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。
h:适用形状复杂样品:清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,全方位均匀清洗。
售后服务:
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