青岛扩散炉 高温扩散炉 半导体扩散 加热炉体

加工定制是	品牌CL-扩散炉
型号青岛晨立扩散炉	用途半导体扩散

卧式扩散炉--扩散炉扩散炉--高温扩散炉，卧式扩散炉，晨立简单介绍：扩散炉--高温扩散炉，卧式扩散炉，晨立设备用途：用于大规模集成电路、电力电子、光    电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。    主要技术指标：★ 炉管数：1～4管★ 配工艺管口径：φ90～360 mm (3～12英寸)★ 恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)  760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)★ 单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)    ±0.5℃/24h (800～1280℃)★ 气源路数：    ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器★ 气体控制：    浮子/质量流量计★ 悬臂舟参数： 速度：    20～1000 mm/min    行程：2000 mm    定位精度：±1 mm    载荷：17 kg★ 超净工作台： 净化等级：100级（万级厂房）噪音：    ≤62db（a）振动：    ≤3μm晨立***新扩散炉设备新鲜出炉,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格高端产品满足不同工艺的要求.
扩散炉--专业供应扩散炉炉体，加热炉体--晨立
一、炉体材料:
★   炉丝：φ8～φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。★   绝缘子:采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。★   保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。★    外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。★    热偶座：进口弹簧卡状固定座。★    把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一定机械强度。 二、炉体参数:★     工作温度：   ≤1300℃★      恒温区长度： 500mm-1000mm★    炉体内径：   φ90～φ360 mm（3～12英寸）★   规范使用：   寿命可达20个月以上（1200℃）★   替代进口：   全方位配套三、应用：       青岛晨立电子有限公司生产的炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国tempress、thermco，荷兰asm，英国btu等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。 上一条: 氧化炉--单管卧式氧化，青岛晨立专业定制

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青岛晨立电子有限公司
王先生
18612520901
山东 青岛 即墨市 青岛市即墨区华山二路618号

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