供应EMS 575T双头高分辨率离子溅射镀膜仪

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海德创业（北京）生物科技有限公司成立十余年来，经公司全体员工不懈努力、进取和广大用户的支持理解，在生命科学、材料科学领域都获得了长足的发展和进步，与众多的高校和研究所建立了良好的合作关系。展望未来，我们会继续本着“优质的服务是公司的根本”这一信条，不骄不躁，继续前行。您的成功，我们的期待！
ems 575t是一款涡轮泵双头高分辨率镀膜仪（喷金仪）。ems-575t样本放置在旋转样品台上（therotary stage），盖好盖子（the chamberlid），按下启动按钮，涡轮分子泵开始加速，5秒钟后，机械泵开始启动，同时十秒气体排空程序启动，两个泵同时运行确保一个高真空。当涡轮泵加速，它的速度由柱状图来标示，到达速度的一半时，真空计扭至自动状态。当腔内气体压降为10-4mbar，排气开始，腔内气压维持在1x 10-2 and 1 x 10-3mbar之间，排气的最后阶段，靶材按照预订镀膜时间开始喷镀。镀膜需要两种不同金属的，不需要关泵，继续溅射另一种金属。喷镀完成后，两个泵停止，排气阀排气。
仪器质保期2年。模块化的单元结构使得仪器维护方便，摘掉问题模块，换上无问题的模块，仪器即可很好的运行，一点不会耽误实验进程。
性能特征：
全自动一键式操作，微处理器数字控制方式，可预设参数
lcd屏实时显示状态参数
质保期：标准保修期为一年
高分辨率精细镀层（不超过0.5nm的铬颗粒大小）
薄金属镀层，典型5nm厚
涡轮分子泵
peltier冷却双溅射头，无需冷却水
双溅射头：一次真空条件下，可顺序溅射两种不同的材料，对于需要依次喷镀两种金属的样品特别适用
磁控溅射靶源设计
旋转机械泵为备用泵，机械泵为外部安装式
仪器参数：
仪器尺寸
450mm(w) x 350mm(d) x 175mm(h)
工作腔室
硼硅酸盐玻璃: 165mm(dia.) x 125mm(h)
加不锈钢底座
110mm(dia.) x 115mm(h)
重量
42kg
靶材
54mm(dia.) x 0.2mm(thick) (标准铬靶材和金靶材)
样品台
60mm(dia.) ，以60 r.p.m 旋转，一定的倾斜度
真空泵工作范围（penning)
atm to 1x10-7 mbar，镀膜腔体极限真空度10-7 mbar
操作真空
1x10-3 mbar to 1x10-4 mbar
溅射电流
0-175ma
溅射时间
0-4 minutes
功率
1000v at 100 ma, 100 watts
沉积速率
30nm/min at 100ma
涡轮分子泵
60 litres/second (ultimate vacuum 1x10-8 mbar)
电源配置
230 volts 50hz (6 amp max incl pump)
services
argon nominal 4 psi
真空泵(推荐配件)
附带真空管和油气过滤器
订购信息：
货号产品名称规格
91110-th
ems 575t twin head sputter coater， complete withtarget
台
91005
rotary vacuum pump
个
92045
ems 50 water chiller
个

海德创业（北京）生物科技有限公司
张北
15910716037
北京市回龙观

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