元特视觉纳米光谱在线测 厚仪薄膜涂布镀层专业检测设备

加工定制是	类型镀层测厚仪
品牌纳米光谱	型号ytv
测量范围0.00001-0.1mm	检测精度0.1~2nmmm

纳米光谱在线测厚仪
现代薄膜涂布镀层工艺需要对膜厚及涂层厚度在线进行实时在线检测。远特视觉simv涂层（膜厚）在线测厚仪，采用纳米光学，可同时对20层不同涂层、薄膜进行同时测量，精度高达1nm,彻底解决了传统由于传统的射线类膜厚检测仪有辐射、检测精度低、偏移周期长、无法检测涂层厚度等缺点，并实现在线实时自动校准，有效的保证了在线测厚仪的检测精度和时效性。
系统检测原理
根据波长的光通过不同的材料（不同的厚度、密度、成分）表面及内部多次反射后，形成的光谱条纹各不相同的光谱干涉条纹特性，与系统数据库中的光谱曲线进行匹配和对比，同时进行特征曲线的仿真和拟合，进而对每种不同成分厚度的图层进行在线测量。
（1）入射光在膜上下表面发生多次反射。
（2）反射光的强度和薄膜折射率，基地(substrate)折射率及膜厚，波长有关。
（3）在已知的折射率的情况下，根据测量出的反射光和波长的函数，计算出膜厚。
 由上面两张图片对比可以发现，特定波长的光经过某种不同的材料内部反射后所产生的光谱干涉条纹完全不同，如上图图片中黑色线条部分，根据每种干涉条纹与系统库中的条纹进行对比仿真拟合，从而检测出实际的材料厚度。

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常州市元特视觉科技有限公司
李先生
13585333010
江苏 常州 新北区 太湖东路9-4号

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