硅片研磨抛光机

高精密硅片研磨机产品说明：
圆柱硅片抛光机主要用途：该机主要适用用各种大尺寸硅片及晶体材料的抛光。圆柱硅片抛光机工作原理：本系列硅片抛光机由四个吸附盘吸附硅片与抛光盘做逆时针旋转来达到抛光的目的。
圆柱硅片抛光机，硅片抛光机特点：
1.本系列抛光机的吸附盘由四台单独的电机驱动、速度与压力可调。
2.控制系统中采用plc彩色终端等先进技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护的功能；
3.本系列抛光机运行平稳，抛光后的产品厚度公差可控制在正负0.002mm范围内，粗糙度可达到0.0005mm。
圆柱硅片抛光机设备规格：
型   号
ym-18a
ym-24a
ym-36a
ym-48a
抛光盘规格
φ460*φ140
φ610*φ200
φ910*φ300
φ1220*φ400
最大抛光尺寸
φ150mm
φ200mm
φ300mm
φ450mm
抛光后平面度
±0.5u以内
±0.7u以内
±1u以内
±1u以内
工件平行度（25mm）
±1u以内
±1.5u以内
±2u以内
±2u以内
工件粗糙度
0.4nm以内
0.4nm以内
0.4nm以内
0.4nm以内
抛光盘电机功率
2.2kw 3相380v
3.7kw 3相380v
7.7kw 3相380v
11kw 3相380v
抛光盘转速
0~120rpm
0~100rpm
0~80rpm
0~60rpm
外形尺寸
700*1100*1100mm
950*1200*2200mm
1200*1400*2300mm
1500*1700*2400mm
重量
960kg
1800kg
2600kg
4500kg

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深圳市大精研磨技术有限公司
王小姐
18948182052
平湖街道世纪工业区7栋

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